測定領域200mmまでの蛍光ウェーハマッピング装置（YWafer RD8構成）が東芝研究開発センター様に導入されました。

弊社の蛍光体マッピング装置（小型機YB3やYB4を含む）では実用的な蛍光光源状態を用いた構成を起用して、ウェーハ下方からの青色光照射による透過光と、照射時に吸収された部分から発光する黄色光をもとに、蛍光体の特性データの取得とマッピングを実現しています。　（測定方法についての詳細はこちら）

これら装置は、ウェーハ板厚マッピングや幾つかの角度依存によるCIE表色系対応を標準構成に含み、最高水準の再現性が特長です。取り替え可能な励起光源もオプションで追加できます。ウェーハアダプタの特注設計やその他の個別設計もRD8の中核機能を妥協することなく実装できます。

本製品の詳細については、お気軽にお問い合わせください。