ロボットによるウェーハ搬送機能を備えた RD8。クリーンロボットは、2～6インチウェーハ（RD8-WL26）または4～8インチウェーハ（RD8-WL48）のハンドリングに対応。
200×200mm領域に対応し、フォトルミネッセンス、エピタキシャル層厚さマッピング、ウェーハ反り測定などを1台で実現。LED／LD、センサ材料、蛍光体の研究開発および量産用途に最適。
複数のフォトルミネッセンス励起レーザー光源に対応し、透過率・反射率測定も可能なオプションを含めても超コンパクト設計。
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最新ニュースとお知らせ
2025.04.07-09: CS International Conference 2025
今年もベルギー、国際化合物半導体学会でお待ちしています！
2024.11.12-15: SEMICON EUROPA 2024
今年、ミュンヘンで開催されるSEMICON EUROPA展示会にて、当社のフラッグシップ製品であるフォトルミネセンスマッピングシステム「YWafer RD8」を出展することをお知らせいたします。ブース番号はC1 800です。ぜひお越しください！
2024.04.16-17: CS International Conference 2024
ベルギー、第１４回国際化合物半導体学会でお待ちしています！
2023.12.10: 新型YWafer GS4！
代表製品 YWafer GS4 に新構成が加わりました。2006年から提供されているこのモデルは、PL、反射率、透過率、さらには曲率測定までをカバーし、デスクトップサイズのYWAFER-GS4（54x54 cmのフットプリント）または、外部のレーザーソースをサポートするためのYWAFER-GS4-DESKフォーマットがあります。そして、新たに、デスクトップ版とデスク版の中間に位置する YWAFER-GS4-ELBASE を提供しています。このモデルは、デスクトップ版と同じく非常にコンパクトながらも、電気モジュールと制御PCも内蔵された自立設計の実現です。
2021.11.20: CS International 2021に来ていただいて誠にありがとうございます。
出席できなかった方のために、ここに全体のプレゼンテーションを提供します。
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